微机电系统技术在物联网中的应用

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微机电系统技术在物联网中的应用

作者：方续东王慧慧出版日期：2013年01月
报告大小：2.47MB
报告字数：22807 字所属丛书：物联网蓝皮书
所属图书：中国物联网发展报告（2012～2013）
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摘要

物联网的研究已经成为国内甚至全世界的热潮，它被称为世界信息产业的第三次革命，与之相关的产业将具有巨大的发展前景。本文重点介绍了物联网核心技术之一——微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem，MEMS)技术、发展以及在物联网产业中的作用和发展状况。同时本文介绍了微机电系统中的微致动器和微传感器在物联网中的相关应用产品以及潜在的应用前景。 <<

关键词：	物联网微传感器微机电系统(MEMS)微致动器

Abstract

The study of the internet of things(IOT)is a hot topic all over the world.It is named as the third revolution of the information industry,and its related industries have huge potential applications.This chapter focuses on Microelectromechanial Systems(MEMS),one of the core technologies of IOT,in terms of its technologies,the development,and the application in IOT.The products of microsensors and microactuators applied in IOT is introduced plus their potential future applied for IOT. <<

Keywords：

Microsensors Microactuators Internet of Things(IOT)Microelectromechanical Systems(MEMS)

作者简介

方续东:美国佐治亚理工大学在读博士研究生和研究助理，目前从事高分子材料在MEMS领域应用的研究，主要为MEMS传感器技术

王慧慧:美国弗吉尼亚大学电机与计算机工程系在读博士研究生和研究助理, 2011 年任美国Qualcomm 公司首席科学家办公室实习工程师, 从事智能材料在人机界面和电子设备应用的研究工作; 国际电气电子工程师学会(IEEE) 会员; 发表学术论文10 余篇, 并持有美国发明专利一项; 目前主要从事MEMS 致动器的研究并具有多年洁净室工作经验。